mlase醫學和工業用緊湊型準分子激光器

mlase醫學和工業用緊湊型準分子激光器

MLase準分子激光器覆蓋波長(193納米、248納米、308納米)，能量范圍每脈沖200毫焦耳或脈沖重復率達1000赫茲

MLase的激光器服務于的工業過程。通過模塊化設計方法，

波長:193納米、248納米(可根據要求提供其他波長:157納米、308納米、351納米)

水冷選項

重復率可達1 kHz

MLase這些準分子激光器的工業應用包括:

光纖布拉格光柵的寫入(FBG)

光學檢測和計量，如測試微光學器件

激光結構化和劃線

陶瓷、金屬或塑料等材料的微加工

激光燒蝕/脈沖激光沉積(PLD，ICP-MS)

在用于檢查掩模或直接晶片處理的半導體制造中